更新時間：2025-06-28
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廠商性質：經(jīng)銷商
型號：COVOT
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科多功能真空搬運機器人
日本ULVAC愛發(fā)科多功能真空搬運機器人
特征
有多種臂可供選擇，以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。
COVOT-CR4 采用磁流體密封進行真空密封，可使用高達 10-6Pa 的高真空。
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 系列 | |
| 工作壓力區(qū)域 | 大氣壓力~10-1Pa | 大氣壓~10-6Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | 200 毫米/300 毫米 | |
| 持有的晶圓數(shù)量 | 4 件 | 2 件 | |
| 最大范圍 * | 880 毫米 | 1050 毫米 | |
| 旋轉角度 | 360° 無盡 | ±180° | |
| 提升行程 | 110 毫米 | 120 毫米 | |
| 最小旋轉直徑 * | 980 毫米 | 960 毫米 | |
| 有效載荷能力（包括手） | 1 千克 | 1 千克 | |
| 作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 1.5 秒 / 全行程 | 最大 1.5 秒/780 毫米 |
| 把 | 最大 2.0 秒 / 180° | 最大 2.0 秒 / 180° | |
| 提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | 最大 3.5 秒 / 105 毫米 | |
| 可重復的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 |
| 把 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 | |
| 提升 | ±0.1 毫米 | ±0.1 毫米 | |
| 示教器 | 附屬品 | 附屬品 | |
| 控制器 | 分開 | 分開 | |
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