更新時(shí)間：2025-06-26
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號(hào)：CRTM-R1-EL
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科晶體沉積監(jiān)測儀
日本ULVAC愛發(fā)科晶體沉積監(jiān)測儀
特征
出色的速率穩(wěn)定性和分辨率使其適用于低速率控制。
能力值（CI 值）測量功能提高了晶體異常檢測能力。
可以同時(shí)控制多達(dá) 8 個(gè)源的氣相沉積。（添加選項(xiàng)）
通信方式支持以太網(wǎng)和 RS-232C。
可以保存各種日志數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)可以傳輸?shù)?USB 并在 PC 上進(jìn)行分析。
OLED 沉積過程中的薄膜厚度和速率監(jiān)控。
| 頻率 | 測量范圍 | 4.00 至 3.00MHz @4MHz 5.00 至 3.50MHz @5MHz 6.00 至 4.50MHz @6MHz |
| 測量分辨率 | 1毫赫茲 | |
| 顯示分辨率 | 1毫赫茲 | |
| 沉積速率 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 999.9?/s（0 至 99.99nm/s） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028?/s @4MHz 0.0018?/s @5MHz 0.0012?/s @6MHz | |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 ?/秒 | |
| 薄膜厚度 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 9999k? （0 至 999.9μm） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028? @4MHz 0.0018? @5MHz 0.0012? @6MHz | |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 千米 | |
| 傳感器頻率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安裝的傳感器數(shù)量（單個(gè)） | 2 個(gè)（可選擇添加一組 2 個(gè)傳感器，最多 8 個(gè)傳感器。 | |
| 可安裝的傳感器數(shù)量（多個(gè)） | 2 個(gè)（可選擇添加一組 2 個(gè)傳感器，最多 8 個(gè)傳感器。 | |
| 采樣率 | 100 毫秒 | |
| 沉積程序數(shù)量 | 999 | |
| 過程程序數(shù)量 | 99 | |
| 數(shù)字輸入點(diǎn) | 14（可以選擇添加一組 14 個(gè)點(diǎn)，最多 56 個(gè)點(diǎn)。 | |
| 數(shù)字輸出點(diǎn) | 8（可以選擇添加一組 8 個(gè)點(diǎn)，最多 32 個(gè)點(diǎn)。 | |
| 模擬輸出點(diǎn) | 2（可以選擇添加一組 2 個(gè)點(diǎn)，最多 16 個(gè)點(diǎn)。 | |
| 模擬輸出范圍 | -10 至 +10V | |
| 通信方式 | 以太網(wǎng) （1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB（B 型，用于使用專用軟件設(shè)置） | |
| 外部尺寸（寬 x 深 x 高） | CRTM-R1-EL：約 480 x 320 x 130 毫米 CTM-EL（-D）：約 80 x 152 x 53 毫米 | |
| 重量 （kg） | CRTM-R1-EL： 5.3 千克（安裝選件時(shí)最高可達(dá) 5.8 千克） CTM-EL（-D）： 0.6 千克 | |
| 效用 | 交流 100 至 240V 50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150瓦 | |
| 合適的保險(xiǎn)絲 | 250V 2.5A （2 個(gè) 5 x 20mm） | |
| IP 防護(hù)等級(jí) | IP20 防護(hù)等級(jí) | |
| 過電壓類別 | 第二類 | |
| 高度 | 海拔 2000m 以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 經(jīng)營環(huán)境 | 溫度 5 至 40°C 濕度 20 至 85%RH（無冷凝） | |
| 存儲(chǔ)環(huán)境 | 溫度 -10 至 60°C 濕度 20 至 85%RH（無冷凝） | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 約 30 分鐘 | |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE | |
* 1：這是 Tooling = 100 且 Density = 1
* 2 時(shí)的值：這是 Tooling = 100 且 Density = 1 時(shí)轉(zhuǎn)換頻率分辨率的值。
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